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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

大型项目视频背景 某特大型半导体材料打造公司工业企业应用于长角形国家,大部分制造晶圆和集成ic。在制造全过程中,晶圆切开和抛光工作步骤诞生大规模磨细液污废水 ,每日一直排缩量上涨约50吨。考虑到污废水 中包含有高溶度悬屏物、五金阴离子及有机肥料加剂,一直一直排放量会对氛围可能会导致为严重被污染,公司工业企业紧缺基础建设的专业工作设施设备。 化工废水成分表及的来源 精磨液化工废水注意源头于晶圆工作中的化学反应机械厂打蜡 (CMP)工艺流程,注意造成的工业废气比如: 浮窗颗粒肥料物 :二阳极氧化的硅、阳极氧化的铝等打磨颗粒物,粒度分布在0.1-1μm,浓硫酸浓度超过2000mg/L。 塑料化合物 :铜、铁、锌等,出自打磨抛光垫受损及晶圆表明金属制层,铜化合物有机废气浓度约50mg/L。 有机会加剂 :例如面上活性酶剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 强酸强碱物 :pH值动荡大,平常在2-11之中。 工作新工艺程序 重视废水加工操作优点,使用“预加工操作+生物化学+淬硬层加工操作”结构的工艺: 改善池 :义均土质储水量,插入耐酸碱调准pH至普通。 混凝土积淀 :污泥脱水PAC(缔合氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),弄掉自动隐藏物和悬浊液,沉降后SS弄掉率>90%。 催化剂的作用脱色 :分为Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)溶解有机化学生成剂,COD避开率达60%。 微生物加工 :MBR膜生物工程不起作用器进这一步可降解用不完无机物,COD降落到100mg/L以內。 铝离子置换 :多功能硅胶粘合剂溶解铜铁离子,有水出铜分子量<0.5mg/L。 砂滤+可溶性炭过滤系统 :事关出液纯净,符合《将污水总合废气准则》(GB8978-1996)四级准则。 结果是结果 系統程序运行固定后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。 工业废水处理处理率达40%,剩于考核标准排放物量,年限制废水处理排放物量1.20万吨。 工作费用约15元/吨,远达不到服务业峰值。

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