某半导体材料厂在工作整个过程中应用氯化铵系成像液，产生了高含量含NOx电镀废水，日处置量50吨。电镀废水内含NO2-达2000mg/L，且包含有微量分析有机化学光刻胶含量，处置困难大。 2. 废水处理工艺组成及种类 显影液生产工序残液（重要被污染的源） 晶圆家电清洗电镀废水 烟气清洗塔排水沟 3. 操作加工过程流量 主要包括"中高级氧化的+二级生物制品办理"技术创新生产工艺： O3脱色 ：利用嗅氧发生的器产生O3，将难光降解有机质物吸附为小大分子的物质，同样将NO2-氧化反应为NO3-。 动物膜不起作用器（MBR） ： 第一名级：氧气不足生态下加药系统甲醇做碳源，促使反硝化细菌反應 第十二级：好氧菌物膜进那步可降解设计物 有机化学上角度除理 ：选用钛基表层探针，实现钛电极反应恢复分解掉的残留物环保问题物。 4. 结果是效用 NOx总氮减至8mg/L有以下 COD稳定的在30mg/L左右 生产废水造纸废水处理率达60% 操作系统执行能耗设定在3.5kWh/吨水，较经典技艺节电20%。