该例子来源西北区县是一家中大型半导体技术制造出工业企业,注意产出集合电路设计鑫霖环保芯片。在产出环节中,晶圆的清洗、蚀刻等工步需适用更多电子器件级磷酸(色度≥85%),从此导致高有机废气浓度含磷化工废水。工业企业原来的办理设施设备始终无法 能够满足空前苛刻的排放出标准规定(TP≤0.5mg/L),现需自动升级工程建筑。
废水处理方法组成成分及源头
废渣处理工艺最主要的来历于这三个节点:晶圆难以清理废渣处理工艺(占总需水量60%)、系统清洁废渣处理工艺(30%)、地板清洁废渣处理工艺(10%)。水源的特征表面为:pH值1.5-2.5,总磷浓硫酸浓度800-1200mg/L,氟正离子水分含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含有微量分析血本属(铜、锌等)。
工作方法具体步骤
业务用"预清理+电化学析出+高端被氧化+深入油烟净化器"的组装生产技术:
控制池
:均匀饮用水质供水量,下设pH上线监测数据装置
特级体现池
:污泥脱水石灰粉乳调整pH至8.5-9.0,行成Ca3(PO4)2放置
二级考试影响池
:加PAC和PAM升级斜板沉淀池效果好
斜板发展池
:保证固液分离法,污泥干化迈入出现脱水设备
Fenton氧化反应模块
:H2O2与Fe²⁺协同作战功用光降解有机质物
多物质过滤装置器
:石英砂砂+化学活化炭女子组合过滤系统,狠抓溢水浑浊
正离子置换软件系统
:进那步清掉残余物合金阴离子
后面视觉效果
程序作业维持后,出水出水水质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟亚铁离子≤5mg/L,几项公式相较于《网络工业化水破坏物污染物标准》(GB 39731-2020)。去年影响磷污染物约15吨,污水所产生量较老式流程影响40%,作业直接费用把握在8.两元/吨水。