该厂为89英寸晶圆产量线一体化的超注射用水装置，每一刻会产生含硅废污水150吨。废污海里虽无高价属，但硅纯度高易积垢，且电阻值率需高达18MΩ·cm才会中水回用。同一整理工学院艺不了能够满足新实施的《电子设备工业化水感染物尾气环保排卸标准规定标准规定》（GB39731-2020）相当尾气环保排卸标准规定允许值。 污水有效成分特性 最主要的影响物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、科粒硅（粒级0.1-1μm） 特殊化条件 ：TOC<10μg/L，硼含氧量<5μg/L 饮用水质性状 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物底部形态繁琐 正确处理工艺技术注意事项 创新技术所采用"梯级膜分离法+电去阳离子"组和流程： 微滤预工作 ：1μm瓷质膜电话拦截大颗粒剂硅，通量恢复80LMH 亚铁离子相互交换不饱和树脂 ：D201大孔不饱和树脂采用性吸附物硅酸分子结构 二次元RO软件 ：一、段回报率60%，第五段采取高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 ：电压高密度2A/m²，不断地清理残余物阳离子 太阳光的紫外线消菌 ：254nm红外光谱线用量40mJ/cm² 高技术短板 搭建专业阻硅剂（有机质胺类挽回物），廷迟膜环保问题周期长3倍 EDI传感器全新流道设汁，硅剔除率增加至99.8% 线下硅阐述仪（測量使用范围0.1-500μg/L）构建有目的把握 工作预期效果 经三方协议探测： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼水平从8μg/L调至0.3μg/L 软件回收公司率从原40%改善至68% 膜撤换周期时间延缓至5年，年作业成本投入降低35%